Microsystème opto-électro-mécanique - La technologie de fabrication des MOEMS est basée sur celle des circuits intégrés. Les matériaux utilisés sont le silicium, le dioxyde de silicium , le nitrure de silicium et l`arséniure de gallium (GaAs). Trouvé sur https://fr.wikipedia.org/wiki/Microsystème_opto-électro-mécanique
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Microsystème opto-électro-mécanique - La technologie de fabrication des MOEMS est basée sur celle des circuits intégrés. Les matériaux utilisés sont le silicium, le dioxyde de silicium , le nitrure de silicium et l`arséniure de gallium (GaAs).